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キャリア　Ａ１８２−６０ＭＢ−０２１５ [1-8204-04]

■ 仕様:●収納枚数：25枚　●連続使用限界温度：120℃●材質：KAタイプ／SP3000（導電性PEEK＋Carbon Fiber）、Aタイプ／ナチュラルPFA（フッ素樹脂）●高温ウェハー投入限界温度：KAタイプ／500℃、Aタイプ／290℃■ 特長:●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
キャリアＫＡ１９８−８０ＭＢ−４７Ｃ０２ [1-8204-01]

■ 仕様:●収納枚数：25枚　●連続使用限界温度：120℃●材質：KAタイプ／SP3000（導電性PEEK＋Carbon Fiber）、Aタイプ／ナチュラルPFA（フッ素樹脂）●高温ウェハー投入限界温度：KAタイプ／500℃、Aタイプ／290℃■ 特長:●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
ウェハーキャリア１５０ＫＭ−６３２ＫＳＡ [6-7987-21]

■ 仕様:●収納数：KM-632K-SA／25枚、KM-839K-A1／26枚●材質：セミプラストRK（PEEK）＋Carbon●D1寸法：25.4mm　●溝ピッチ：6.35mm■ 特長:●静電気対策用、高温用のカセットです。●KM-632K-SAはロボットフランジ付きです。
キャリア　Ａ１９２−８０Ｍ−０２１５ [1-8204-03]

■ 仕様:●収納枚数：25枚　●連続使用限界温度：120℃●材質：KAタイプ／SP3000（導電性PEEK＋Carbon Fiber）、Aタイプ／ナチュラルPFA（フッ素樹脂）●高温ウェハー投入限界温度：KAタイプ／500℃、Aタイプ／290℃■ 特長:●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
キャリアＫＡ１８２−６０ＭＢ−４７Ｃ０２ [1-8204-02]

■ 仕様:●収納枚数：25枚　●連続使用限界温度：120℃●材質：KAタイプ／SP3000（導電性PEEK＋Carbon Fiber）、Aタイプ／ナチュラルPFA（フッ素樹脂）●高温ウェハー投入限界温度：KAタイプ／500℃、Aタイプ／290℃■ 特長:●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
アルミキャリア　ＭＣ−８０　２５枚入 [6-7987-59]

■ 仕様:●収納数：25枚●D1寸法：MC-30・40・50・60／13.97mm、MC-80／25.4mm●耐熱温度：180℃　●丸型ウェハー用■ 特長:●アルミ抽出加工品に、表面はテフロンRコーティング処理を施しています。
ウエハーキャリア　ＫＭ−１２０１−Ａ２ [1-8301-01]

■ 仕様:●収納数： KM-1201-A2／13枚、KM-1205-A／15枚●材質：セミプラストRA（PFA）●D1寸法： 25.3mm●溝ピッチ： 10.0mm
ウエハーキャリア　ＫＭ−１２０５−Ａ [1-8301-02]

■ 仕様:●収納数： KM-1201-A2／13枚、KM-1205-A／15枚●材質：セミプラストRA（PFA）●D1寸法： 25.3mm●溝ピッチ： 10.0mm
ウェーハートレーＨ２２−１０−０６１５ [9-3059-01]

■ 仕様:●材質：ナチュラルPP（ポリプロピレン）■ 特長:●ウェハーの表を下にして収納します。●ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。●スプリングでウェハーを固定します。●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。■ 脚注:※3.5・5・6インチのガリウムひ素ウェハーを収納する場合は、LDPE（低密度ポリエチレン）のスプリングを使用してください。
ウェーハトレーＨ２２−２０２ＪＶ０６１５ [9-3057-03]

■ 仕様:●材質：ナチュラルPP（ポリプロピレン）■ 特長:●ウェハーの表を下にして収納します。●ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。●スプリングでウェハーを固定します。●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。■ 脚注:※3.5・5・6インチのガリウムひ素ウェハーを収納する場合は、LDPE（低密度ポリエチレン）のスプリングを使用してください。
ウェーハトレーＨ２２−１５２ＪＶ０６１５ [9-3058-03]

■ 仕様:●材質：ナチュラルPP（ポリプロピレン）■ 特長:●ウェハーの表を下にして収納します。●ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。●スプリングでウェハーを固定します。●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。■ 脚注:※3.5・5・6インチのガリウムひ素ウェハーを収納する場合は、LDPE（低密度ポリエチレン）のスプリングを使用してください。
ウェーハートレーＨ２２−１０１−０６１５ [9-3059-02]

■ 仕様:●材質：ナチュラルPP（ポリプロピレン）■ 特長:●ウェハーの表を下にして収納します。●ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。●スプリングでウェハーを固定します。●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。■ 脚注:※3.5・5・6インチのガリウムひ素ウェハーを収納する場合は、LDPE（低密度ポリエチレン）のスプリングを使用してください。

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アルミキャリア ＭＣ−８０ ２５枚入 [6-7987-59]

ウエハーキャリア ＫＭ−１２０１−Ａ２ [1-8301-01]

ウエハーキャリア ＫＭ−１２０５−Ａ [1-8301-02]

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