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シッパーH93−120−101−1116 [1-4463-04]
ウエハーキャリア KM−627K−SA [6-7987-41]
ウェハーキャリヤー KM−60NA [7-177-10]
ハンドルHM−80 (200用) [6-7987-46]
角型キャリヤーMASK 150MASK [7-177-17]
■ 仕様:●材質:透明PC(ポリカーボネート)、H93-100A/PP(ポリプロピレン)■ 特長:●取り出しやすく、積み重ねもできます。
■ 仕様:●収納数:25枚●材質:セミプラストRK(PEEK)+Carbon●D1寸法:13.97mm ●溝ピッチ:4.76mm■ 特長:●帯電防止型、高温用カセットです。
■ 仕様:●収納数:25枚●材質:セミプラストRA(PFA)●D1寸法:KM-40NA・50NA・60NA/13.97mm、KM-80NA/19.05mm●溝ピッチ:4.76mm(3/16″)■ 脚注:※PP(ポリプロピレン)製で自動処理機用と保管を目的にしたキャリヤーもあります。
■ 仕様:●材質:テフロンR(PFA)
■ 仕様:●収納数:13枚●材質:セミプラストRA(PFA)●溝ピッチ:9.52mm(3/8″)■ 特長:●マスクガラス処理用のキャリヤーですが、水晶基板・液晶・ハイブリット基板の処理にも利用できます。●保管用ボックス収納タイプではなく、洗浄用タイプです。■ 脚注:※ハンドルHGシリーズ(P.1756)をご使用ください。
■ 仕様:●収納数:25枚●材質:セミプラストRA(PFA)●D1寸法:25.4mm●溝ピッチ:6.35mm■ 特長:●ハーフタイプのキャリアで、洗浄・乾燥用に適しています。
■ 仕様:●材質: ソーダガラス●入数: 1箱(50枚入)●厚み:0.7mm■ 脚注:※ 特注サイズ・形状製作も承ります。
■ 仕様:●収納数:25枚●材質:セミプラストRA(PFA)●D1寸法:13.97mm●溝ピッチ:4.76mm■ 特長:●剛性を重視し、カセット下部の溝形状に独特の構造を持った洗浄・エッチング用カセットです。
■ 仕様:●収納数:25枚●材質:セミプラストRA(PFA)●D1寸法:KM-615-A1/14.54mm、KM-822-A1/25.4mm●溝ピッチ:KM-615A1/4.76mm、KM-822-A1/6.35mm
■ 仕様:●収納数:25枚●材質:セミプラストRA(PFA)●D1寸法:14.54mm●溝ピッチ:4.76mm■ 特長:●特に溝の開孔部が大きくウェハーの洗浄に優れています。
■ 仕様:●収納数:KM-632K-SA/25枚、KM-839K-A1/26枚●材質:セミプラストRK(PEEK)+Carbon●D1寸法:25.4mm ●溝ピッチ:6.35mm■ 特長:●静電気対策用、高温用のカセットです。●KM-632K-SAはロボットフランジ付きです。