ガスフィルター WGFG21KP3 [1-5900-02]
■ 仕様:●材質:フィルタ-/PTFE(フッ素樹脂)、サポート・ハウジング/PFA(GT-プラス)・GTL(ポリスルホン)●最大許容圧力:0.41MPa●最大許容正差圧:GT-プラス/0.34MPa、GTL/0.41MPa●最大許容逆差圧:0.034MPa●膜面積:GT-プラス/12cm2、GTL/25cm2●最高使用温度:GT-プラス/60℃、GTL/50℃●推奨流量(l/min):G01KP03・G21KP3/30、G01DS0・G01DSH/80■ 特長:●半導体製造装置における搬送・パージ用N2・