エステック　デジタル質量流量計 |||ＳＥＦ－５１ - 三商(SANSYO)

• 最先端半導体製造技術を応用してシリコンチップ上に形成された超小型の流量計。SEF-21Aシリーズの機能にさらに上・下限の流量警報出力を備えた電源内蔵のコンパクトなフローモニターです。ガス消費量モニターに最適です。

规格

商品货号	65-0807
商品名称	デジタル質量流量計　フローライン　瞬時表示/積算流量計
商品型号	SEF-51
库存数量(个)	请与我们联系
交货期信息	请与我们联系
各种标识
標準流量レンジ※1	500CCM/1/2/5/10/20/50LM
流量測定範囲	指定方向の流れに対しフルスケールの10～100％
応答速度（90％）	表示値最終応答1.2秒以内
精度（％）	フルスケールの±3
直線性（％）	フルスケールの±3（分解能　フルスケールの1以内）
再現性（％）	フルスケールの±1
適用ガス	標準:N2,O2,Air,Ar,CO2(要指定),その他のガスについてはあらかじめご相談ください。
適用除外ガス	SiH2Cl2、F2、HCl、HF、Cl2等の腐蝕性ガスおよび過蝕和水分含有ガス
接ガス部	ポリアセタール,ポリカーボネイト,シリコンゴム、SiO2,Si,Au,Al2O3,ポリイミド
表示部	液晶表示　瞬間流量3桁/積算流量4桁
データ表示周期	0.6秒毎
外部出力/瞬時流用	DC0～5V/0～10V（切換可）およびTTL出力 ※3
外部出力/積算流量	TTL出力 ※3
外部出力/アラーム	上・下限各1点（動作点任意設定可） オープンコレクター　最大定格 30V 50mA
使用温度（℃）	＋5～＋40
使用圧力（MPa） ※4	－0.05～1
耐圧（MPa）	1.5
リーク規格	0.4MPa加圧後10分間の減少圧力0.01MPa以下
取付姿勢	自由
標準ガス取合	R1/4
電源	AC100V±10V　約10VA
重量（g）	約800
外寸法（mm）	W122×D60×H105

※上述的商品信息中的交货期受库存与进口情况可能发生的变动，具体要求交货期请与我们联系确认，咨询电话：400-666-2192

备注

※1. CCM（CC/min）、LM（L/min）は、25℃、0.1MPaの校正です。0℃、0.1MPaの校正（SCCM、SLM）をご希望の場合にはあらかじめ　ご指定下さい。N・m3hrは0℃1気圧の校正です。

※2. 校正されたガス以外のガスでは正確な流量が表示されない場合があリます。但し、N2、O2、Airは共通で使用できます。測定原理が異なるためマスフローコントローラのコンバージョンファクタは使用できません。

※3. TTL出力：TTLレベル（オープンコレクター）シリアルインターフェイス：RS－232C準拠

※4. 使用圧力は、標準品：－0.05～0.5MPaと準標準品：0.5～1MPaがあリます（あらかじめご指定下さい）。

注意事项

※ご注文時に流量レンジ、流体名、使用圧力を必ずご指定下さい。

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